我們眼前有一個微米尺度的機器人，大小和草履蟲差不多，肉眼看不見的那種。

顯微鏡下長這樣，可可愛愛沒有腦袋的它正在受激光的控制在液體中游動。

機器人大軍集合。

那么，要制造這樣小到極致的機器人，還要讓它順利移動，最難的部分是什么？

在這個問題上，科學(xué)家們的一個較為一致的答案是：微米級致動器系統(tǒng)（致動器可簡單理解為能讓機器人動起來的馬達(dá)）。

這一領(lǐng)域最近迎來了一個好消息：一組來自美國康奈爾大學(xué) Kavli 生物納米科技研究所、康奈爾大學(xué)原子與固體物理實驗室、賓夕法尼亞大學(xué)電氣與系統(tǒng)工程系、康奈爾大學(xué)應(yīng)用與工程物理系的科學(xué)家團(tuán)隊開發(fā)出了一種新型的致動器，并在此基礎(chǔ)上創(chuàng)造了 100 多萬個微型四腳機器人，這也是迄今為止首批尺寸小于 0.1 毫米的機器人。

2020 年 8 月 26 日，該團(tuán)隊以 Electronically integrated, mass-manufactured, microscopic robots（電子集成批量制造微型機器人）為題的研究成果發(fā)表于知名學(xué)術(shù)期刊《自然》。

微電子研究的新世界大門

在微電子學(xué)領(lǐng)域，摩爾定律的擴(kuò)展為微型機器人領(lǐng)域帶來了巨大機遇——電子、磁和光學(xué)系統(tǒng)提供了一個前所未有的復(fù)雜性高、尺寸小、成本低的組合，可以較為容易地用于小于人類視覺分辨率極限（100 微米）的機器人。

然而，一個主要障礙是：不存在與半導(dǎo)體處理無縫集成并響應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)電子控制信號的微米級致動器系統(tǒng)。

為克服這一障礙，研究團(tuán)隊開發(fā)了一種新型電壓可控電化學(xué)致動器，它能在低電壓（200 微伏）、低功率（10 納瓦）下操作，可與硅處理完全兼容。

為彰顯這種新型致動器的潛力，研究團(tuán)隊通過光刻技術(shù)制造了微型機器人。

每 4 英寸的晶圓就能生產(chǎn) 100 余萬個機器人，而每個機器人的尺寸也是讓人驚掉下巴——厚約 5 微米、寬約 40 微米、長為 40-70 微米。

這一成就激發(fā)出了驅(qū)動器與微電子電路集成的巨大潛力，對于大規(guī)模制造硅基功能機器人來說是一個重要的進(jìn)步。

正因如此，《自然》對這種微型機器人的評價是：

為過去 50 年的微電子研究打開了新世界的大門。

可受激光控制在液體中游動

實際上，這種制造技術(shù)與芯片一致的機器人還有一項特殊功能：受激光控制，在液體中游動。

據(jù)《自然》報道，要想設(shè)計一款在液體環(huán)境中可移動的微型機器人并不容易，原因顯而易見——微米尺度的物體想要前進(jìn)，將面臨強大的阻力。

好在該團(tuán)隊開發(fā)的致動器派上了用場。

原理是，團(tuán)隊使用原子層沉積和光刻技術(shù)，用厚度僅為幾十個原子的鉑條制造了致動器，其一側(cè)被一層惰性鈦覆蓋。

研究團(tuán)隊將四個致動器設(shè)計成機器人的四條腿，在對其施加正電荷時，帶負(fù)電的離子將從周圍溶液中吸附到暴露的表面上中和電荷，因此鉑會膨脹產(chǎn)生彎曲，但同時其具有超薄特性，材料急劇彎曲也不會斷裂，保證機器人能在浸沒于水的凹凸不平表面上動起來。

為控制機器人的 3D 肢體運動，研究團(tuán)隊還在致動器頂部設(shè)計了剛性聚合物面板，面板之間有一定的間隙，功能就類似人體的膝蓋或腳踝。

而且，向前或向后移動的方向不同，四條腿扭轉(zhuǎn)的程度也不同。

不僅如此，機器人的四條腿連接著位于中部底盤（可以理解為機器人的軀干）的幾個光伏貼片（太陽能電池）上。

當(dāng)激光照射在貼片上時，四條腿也將彎曲、伸直。而通過不同貼片上的閃爍激光脈沖，機器人受到控制，前后腿就會交替彎曲，因此開始移動。

一定程度上，這種創(chuàng)新性設(shè)計對于其他微電機的推進(jìn)機制也有參考價值。比如，雖然要考慮到特定的化學(xué)環(huán)境、能源轉(zhuǎn)化為運動的效率等等，但自電泳微型電動機也可通過連接到機載電路的電流供電。

如何克服制造微型機器人的技術(shù)挑戰(zhàn)？

雷鋒網(wǎng)了解到，面對微型機器人制造的技術(shù)挑戰(zhàn)，科學(xué)家目前有兩種策略。

第一種是能反映遠(yuǎn)程能量供應(yīng)和認(rèn)知功能的設(shè)計，它被稱為「牽線木偶」（marionette）。

這種設(shè)計包含電源，計算或決策組件與機器人本身分離。

其優(yōu)勢在于，無需集成機載電源和計算電路就可以測試功能組件；而缺點是必須始終將機器人“束縛”在能量源上。

不難看出，上述微型機器人正是屬于這一類設(shè)計，原因在于研究人員是通過照在光伏貼片上的激光來提供指令的。

第二種策略是構(gòu)建完全不受任何束縛的自主設(shè)備。微型機器人已經(jīng)結(jié)合了能量存儲技術(shù)或從環(huán)境中清除能量的方法，但考慮到能量存儲、計算能力和小規(guī)模制造方法的局限性，自主設(shè)備在實現(xiàn)微型化的同時又不失“智能”的能力，還有待觀察。

雖然微型機器人未來還有很大的發(fā)展空間，但這項研究的意義無疑是重大的。未來微型機器人會的不應(yīng)僅局限于「游泳」，更重要的是通過傳感器和邏輯電路的輸入遵循更為高級的指令。

引用來源：

https://www.nature.com/articles/s41586-020-2626-9

https://www.nature.com/articles/d41586-020-02421-2

https://news.cornell.edu/stories/2020/08/laser-jolts-microscopic-electronic-robots-motion

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